風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元 FFU使用說(shuō)明書(shū)

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1-1 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元
風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU ）是一種 自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝 置 。
風(fēng)機(jī)從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng) HEPA 過(guò)濾，過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè) 。
● 使用環(huán)境
?周?chē)鷾囟龋?℃～40℃
?濕度：低于 85%RH(沒(méi)有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周?chē)諝猓阂话闶覂?nèi)空氣
?清凈度：100-10 級(jí)
?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù) ON/OFF 操作機(jī)體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組，將會(huì)影響制品性能，并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元請(qǐng)參閱第 4 頁(yè)的〝重要安全事項(xiàng)〞。

2 1-2 結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

(1) 主要部件

1 2-1 安裝使用環(huán)境
● 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設(shè)置風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。
● 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
● 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。
2 2-2 運(yùn)送與安裝
● 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品，搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車(chē)等工具運(yùn)送時(shí)，請(qǐng)選用車(chē)臺(tái)超過(guò)機(jī)體包裝寬度的推車(chē)。
● 機(jī)體安裝后，機(jī)體上方至少須預(yù)留 30 公分以上的空間，以利將來(lái)機(jī)體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機(jī)體將無(wú)法進(jìn)行維修及部件更換。
● 試運(yùn)轉(zhuǎn)前，請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。
3 2-3 安裝 ? 使用注意事項(xiàng)
● 風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元安裝于無(wú)塵室時(shí)，請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示
● 當(dāng)進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)
請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元機(jī)體，以免造成機(jī)體變形。
● 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體，以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。
● 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口，機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機(jī)體性能無(wú)法正常發(fā)揮，造成機(jī)體功能異?；螂姎獠考p壞。
● 實(shí)施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。
. 2. 重要安全事項(xiàng)
3-1 1 1 1 運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)
運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng)：
● 機(jī)體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。
● 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。
● 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。
3-2 2 2 2 運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)
(1) 開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)
● 當(dāng)電源開(kāi)啟后，機(jī)體即開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異?，F(xiàn)象。
當(dāng)有下列情形發(fā)生，機(jī)體無(wú)法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，請(qǐng)向經(jīng)銷(xiāo)服務(wù)人員反映。
● 機(jī)體內(nèi)部有異物，機(jī)體離心風(fēng)扇無(wú)法正常旋轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
● 機(jī)體內(nèi)部電氣部件，如過(guò)電源插頭、馬達(dá)損壞。
(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)
● 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，請(qǐng)即切斷電源，停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。

4. 維修 ? 點(diǎn)檢
● 自購(gòu)買(mǎi)日起進(jìn)行定期檢查，請(qǐng)勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。
● 除了維修人員外，請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。
● 當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí)，請(qǐng)注意不要損壞濾紙。
● 維修?點(diǎn)檢時(shí)，請(qǐng)務(wù)必先切斷電源，停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施，以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。
● 當(dāng)安裝?維修?點(diǎn)檢完成后，在機(jī)體起動(dòng)前，請(qǐng)確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。
4-1 日常維護(hù)
每天工作開(kāi)始之前請(qǐng)依表 2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。

4-2 定期維護(hù)
使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元一段時(shí)間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。
4-2.1 定期維護(hù)
(1)定期維護(hù)項(xiàng)目請(qǐng)依表 3.所示，對(duì)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當(dāng)部件壽命已至?xí)r，請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄 漏 (腐蝕氣體…..等) 意外發(fā)生，
停機(jī)再啟動(dòng)后，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。

3. 定期維護(hù)項(xiàng)目

表 4 ?消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )

4.2.2 點(diǎn)檢完成
點(diǎn)檢完成后，清潔工作場(chǎng)所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況；保留點(diǎn)檢報(bào) 告 ,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。
3 4-3 故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)) ，然后慎重的調(diào)查問(wèn)題的起因及采取適合的改善措施。

● 非服務(wù)技術(shù)人員請(qǐng)勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元，以避免造成嚴(yán)重的意外，例如觸電或火災(zāi)。

● 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí)，請(qǐng)務(wù)必依本說(shuō)明書(shū)中表 1.所列之部件名稱(chēng)提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品，不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的性能，同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。