重點(diǎn)介紹無塵室定義及無塵室等級

什么是無塵室？無塵室定義是什么？無塵室等級分為哪些？本文重點(diǎn)介紹無塵室定義及無塵室等級。無塵室又稱為潔凈室,是根據(jù)需要,對空氣中塵粒（包括微生物）、溫度、濕度、壓力、和噪聲進(jìn)行控制的密封空間,并以其潔凈度等級符合規(guī)范規(guī)定為主要特征。

依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室(又名潔凈室,無塵車間)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

一、無塵室定義

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無法完全清除之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用BiologicalCleanRoo(BCR)。

二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級
現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格(U.S.Federalstandard209b)，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格(美國航空署5340.2規(guī)格)。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無塵室清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。
21世界，最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

二、無塵車間標(biāo)準(zhǔn)-等級

美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3

潔凈度級別 粒徑(um)

0.1 0.2 0.3 0.5 5.0

1 35 7.5 3 1 NA

10 350 75 30 10 NA

100 NA 750 300 100 NA

1000 NA NA NA 1000 7

10000 NA NA NA 10000 70

100000 NA NA NA 100000 700

中國藥品生產(chǎn)無塵車間(區(qū))的空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)

潔凈度級別 塵埃最允許數(shù)/平方米 微生物最大允許數(shù)

≥0.5um 5um 浮游菌個/立方米 沉降菌個/皿.30min

100 3500 0 5 1

10000 350000 2000 100 3

100000 3500000 20000 500 10

300000 10500000 61800 NA 15

無塵車間及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001

空氣潔凈度等級(N) 大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm

1 10 2

2 100 24 10 4

3 1000 237 102 35 8

4 10000 2370 1020 352 83

5 100000 23700 10200 3520 832 29

6 1000000 237000 102000 35200 8320 293

7 352000 83200 2930

8 3520000 832000 29300

9 35200000 8320000 293000

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